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    當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章

    • 2025

      4-28

      泄漏率測試是工業(yè)制造與科研領(lǐng)域中確保系統(tǒng)密封性的關(guān)鍵環(huán)節(jié),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、真空系統(tǒng)、醫(yī)療儀器、航空航天等高精度領(lǐng)域。測試的核心目標(biāo)是量化氣體或液體在密閉系統(tǒng)中的微小泄漏量,通常以標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘(sccm)或類似單位衡量。由于現(xiàn)代工業(yè)對密封性的要求日益嚴(yán)苛(如半導(dǎo)體工藝中允許的泄漏率可能低至1×10??sccm級別),傳統(tǒng)檢測手段難以滿足需求,而基于層流壓差式質(zhì)量流量控制器(MFC)的技術(shù)因其高精度、快速響應(yīng)和環(huán)境適應(yīng)性,逐漸成為泄漏率測試的核心設(shè)備。層流壓差式MFC...

    • 2025

      4-27

      揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)的在線監(jiān)測是環(huán)保治理的關(guān)鍵環(huán)節(jié),尤其在工業(yè)廢氣處理、大氣污染防控等領(lǐng)域。而層流壓差式質(zhì)量流量控制器(MassFlowController,簡稱MFC)憑借其高精度、抗吸附性及耐腐蝕等特點(diǎn),成為VOCs在線監(jiān)測系統(tǒng)中的核心組件。層流壓差式MFC的技術(shù)原理與VOCs監(jiān)測的適配性層流壓差式MFC基于哈根-泊肅葉定律,通過層流元件強(qiáng)制氣體進(jìn)入層流狀態(tài)(雷諾數(shù)Re技術(shù)特性與VOCs監(jiān)測的適配性:高精度與穩(wěn)定性:精度可達(dá)±0.5%讀數(shù),重復(fù)性&plu...

    • 2025

      4-25

      質(zhì)量流量控制器在諸多領(lǐng)域中發(fā)揮著關(guān)鍵作用,其性能的優(yōu)劣直接關(guān)系到系統(tǒng)的精確控制和穩(wěn)定運(yùn)行。以下是一些影響質(zhì)量流量控制器性能的重要因素。流體特性是影響質(zhì)量流量控制器性能的關(guān)鍵因素之一。不同的流體具有不同的物理性質(zhì),如密度、粘度、溫度和壓力等。密度較大的流體在相同的流速下會產(chǎn)生更大的質(zhì)量流量,而粘度較高的流體則可能導(dǎo)致流量測量和控制的誤差增大。此外,流體的溫度和壓力變化也會對控制器的性能產(chǎn)生影響,因?yàn)檫@些變化會導(dǎo)致流體密度和體積的改變,進(jìn)而影響質(zhì)量流量的測量精度。精度和分辨率也是...

    • 2025

      4-25

      化學(xué)機(jī)械拋光(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)是半導(dǎo)體制造中實(shí)現(xiàn)晶圓表面納米級平坦化的關(guān)鍵工藝,其核心設(shè)備CMP機(jī)臺通過化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同作用,確保芯片多層結(jié)構(gòu)的精確加工。質(zhì)量流量控制器(MassFlowController,MFC)作為高精度氣體流量控制的核心部件,在CMP設(shè)備中扮演了重要角色。CMP工藝對氣體控制的嚴(yán)苛需求CMP工藝的核心是通過拋光液與晶圓表面的化學(xué)反應(yīng)及機(jī)械摩擦實(shí)現(xiàn)材料去除。在此過程中,多種工藝氣體(如氧氣、氮?dú)狻?..

    • 2025

      4-24

      氣體壓力控制器的定義與工作原理氣體壓力控制器是一種用于監(jiān)測和調(diào)節(jié)氣體壓力的自動化裝置,其核心功能是維持系統(tǒng)壓力在設(shè)定范圍內(nèi),確保設(shè)備安全運(yùn)行并優(yōu)化工藝效率。它通過傳感器、閥門等組件實(shí)現(xiàn)動態(tài)調(diào)節(jié),廣泛應(yīng)用于工業(yè)、能源、醫(yī)療、交通等領(lǐng)域。氣體流量與壓力的關(guān)系氣體流量(單位時間內(nèi)通過的氣體體積)與壓力(單位面積上的作用力)之間存在復(fù)雜的動態(tài)關(guān)聯(lián),主要受流量-壓力曲線與阻力系數(shù)、流動狀態(tài)與雷諾數(shù)、溫度與介質(zhì)特性的影響壓力控制器如何影響氣體流量氣體壓力控制器通過調(diào)節(jié)系統(tǒng)壓力,間接或直接...

    • 2025

      4-23

      層流壓差式質(zhì)量流量控制器(LaminarDifferentialPressureMassFlowController,簡稱層流壓差式MFC)憑借其高精度、快速響應(yīng)、耐腐蝕等特性,已成為特種氣體輸送與控制系統(tǒng)中的核心組件。尤其在特氣柜(特種氣體控制柜)中,其應(yīng)用場景覆蓋半導(dǎo)體、光伏、環(huán)保監(jiān)測等多個領(lǐng)域,通過精準(zhǔn)的流量控制確保氣體供應(yīng)的安全性與工藝穩(wěn)定性。一、半導(dǎo)體制造:高純特氣輸送與工藝優(yōu)化在半導(dǎo)體晶圓制造中,特氣柜需安全存儲并輸送高純度、高腐蝕性氣體(如SiH?、Cl?、HF...

    • 2025

      4-22

      層流壓差式質(zhì)量流量控制器(MassFlowControllerMFC)在環(huán)保領(lǐng)域(如大氣監(jiān)測、流量校準(zhǔn)、VOCs在線監(jiān)測系統(tǒng)等)的應(yīng)用廣泛,小編將結(jié)合實(shí)際案例并分析其技術(shù)優(yōu)勢。一、在環(huán)保領(lǐng)域的典型應(yīng)用場景及案例1.大氣監(jiān)測中的氣體采樣與流量控制應(yīng)用需求:大氣監(jiān)測需對痕量污染物(如PM2.5、SO?、NOx等)進(jìn)行高精度采樣,流量穩(wěn)定性直接影響數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。例如,在環(huán)境空氣質(zhì)量監(jiān)測站中,需確保氣體采樣流量誤差小于±1%,且需適應(yīng)戶外復(fù)雜溫濕度環(huán)境。實(shí)際案例:某城市環(huán)...

    • 2025

      4-21

      在光伏制造領(lǐng)域,氣體流量的精準(zhǔn)控制是提升工藝質(zhì)量和生產(chǎn)效率的核心需求之一。隨著光伏技術(shù)向高效化、精密化方向發(fā)展,層流壓差式質(zhì)量流量控制器(LaminarDifferentialPressureMassFlowController,簡稱層流壓差式MFC)憑借其測量原理和性能,逐漸成為光伏行業(yè)氣體流量控制的關(guān)鍵設(shè)備。層流壓差式MFC基于流體力學(xué)中的哈根-泊肅葉定律(Hagen-PoiseuilleLaw),通過層流元件強(qiáng)制氣體進(jìn)入層流狀態(tài)(雷諾數(shù)Re光伏行業(yè)中的應(yīng)用場景薄膜沉積工...

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