易度智能高性能氣體質量流量控制器推動國產化半導體芯片發展

2025年西部半導體及電子博覽會即將在西安隆重開幕。在這場聚焦中國半導體產業核心技術與供應鏈安全的行業盛會上，國產化替代成為貫穿全場的主旋律。

作為本次展會備受矚目的本土創新力量，陜西易度智能科技有限公司將展示其自主研發的層流壓差式質量流量計與控制器系列產品——這些突破“卡脖子"技術的關鍵部件正在重塑中國半導體裝備的“呼吸系統"。

國產化突破：從技術依賴到自主創新
陜西易度智能科技有限公司并非行業中的陌生面孔。這家專注研發制造業微流量控制核心器件的企業，憑借自主研發十余年的技術積淀，已成為國內極少數掌握層流壓差式核心技術的企業。

在工信部“100%國產化認證"的政策東風下，易度智能實現了從核心傳感器到控制算法的全面自主化，其產品線涵蓋質量流量計和質量流量控制器兩大關鍵領域。

公司研發團隊以西北工業大學數名博士后、博士為核心，依托航空宇航專業背景，在微流量測控領域擁有深厚技術積累。目前已取得20余項創新型技術和幾十項國內外認證，并參與了國家《層流流量計檢定規程》等標準的制定。

“我們堅持從一條公式開始研發高性能產品。"易度智能的技術發展理念體現了對基礎科學的尊重。這種堅持使他們成為國內第—家通過中國計量科學研究院認證的層流質量流量計和控制器制造商，也是全球二家有能力生產通用型層流質量流量計的企業。

精密控制：半導體制造的“氣體脈搏"
在半導體芯片制造過程中，特氣控制的精度直接決定芯片良品率。易度智能針對半導體特氣控制的高標準要求，專門建立了百級潔凈間生產線，確保產品滿足晶圓制造的嚴苛環境。

公司產品線針對不同半導體工況進行了精細化布局：

E系列工業配套流量計：采用金屬殼體封裝，抗電磁干擾能力強，適用于半導體工廠復雜環境。量程范圍覆蓋0.5sccm~5000slpm，相應速度可達1ms，滿足從實驗室到量產線的全場景需求。

EC系列工業配套流量控制器：2025年新一代產品支持PROFINET通訊，響應速度可達300ms，精度±0.5%Rd，內置70種氣體數據庫并支持混氣編輯。其寬溫壓工作范圍（-20℃~60℃/2.5MPa）適應半導體設備的各種工況。

T/TC系列小尺寸流量計與控制器：專為空間受限的半導體設備集成設計，在保持高性能的同時大幅縮減體積，適用于緊湊型刻蝕和沉積設備。模塊化設計支持RS485/模擬信號等多種主流通訊協議。

這些產品基于層流壓差原理，通過內置壓力與溫度傳感器實現動態補償，解決了半導體制造中混合氣體控制、快速響應和高精度要求的三大技術痛點。其無需轉換系數即可實現任意比例混合氣體切換的特性，顯著簡化了半導體工藝氣體切換的操作流程。

國產替代：從“可用"到“好用"的跨越
長期以來，半導體制造用質量流量控制器市場被國際品牌壟斷。易度智能憑借層流壓差技術路線的差異化優勢，實現了國產MFC從“技術可用"到“技術好用"的關鍵跨越。

在半導體刻蝕、薄膜沉積等核心工藝環節，易度智能控制器的表現尤為亮眼。其響應速度達10ms級（遠超傳統熱式流量計的秒級響應），精度達±0.5%Rd，在高頻、高精度場景中展現出超高性能。

“在國產替代趨勢下，我們在半導體制造、燃料電池測試等領域的表現尤為突出。"易度智能技術負責人指出。公司產品已在多家國內頭部半導體設備商的機臺中實現批量應用，助力國產光刻機、刻蝕機等核心裝備實現流量控制部件的本土化替代。

隨著國產化進程加速，國產MFC在半導體市場滲透率持續提升。行業數據顯示，預計到2030年，國產化率將超過40%，而易度智能正處在這場替代浪潮的前沿。

2030年國產化率超40%——這是行業對國產質量流量控制器在半導體領域滲透率的預期。在西部半導體展聚光燈外，易度智能的工程師們仍在百級潔凈間內調試下一代產品。

他們的目標明確：將產品穩定性做到更好，將控制精度從±0.5%提升至±0.2%，讓中國半導體設備的每一次“呼吸"都精準無誤。

精密氣體流控領域的競賽從未停止，但這一次，中國創新者已躋身第一梯隊。