技術(shù)演進(jìn)背景
質(zhì)量流量控制器(MFC)作為精密氣體流量控制的核心部件，其技術(shù)演進(jìn)始終圍繞精度、響應(yīng)速度和氣體兼容性展開(kāi)。早期國(guó)產(chǎn)MFC以熱式技術(shù)為主，通過(guò)測(cè)量氣體熱傳導(dǎo)特性實(shí)現(xiàn)流量控制，但存在氣體兼容性差、易受污染等問(wèn)題。近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體、新能源等領(lǐng)域?qū)Χ鄽怏w、高精度控制的需求激增，壓差式技術(shù)憑借其通用性強(qiáng)、穩(wěn)定性高的優(yōu)勢(shì)逐漸成為國(guó)產(chǎn)替代的重要方向。
熱式與壓差式技術(shù)原理對(duì)比
熱式質(zhì)量流量控制器
原理：基于氣體熱傳導(dǎo)特性，通過(guò)加熱元件與溫度傳感器組合，測(cè)量氣體流動(dòng)帶走的熱量差異。上下游溫度差與質(zhì)量流量成正比，傳感器將溫差轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，控制器據(jù)此調(diào)節(jié)閥門(mén)開(kāi)度。
優(yōu)勢(shì)：響應(yīng)速度快(可達(dá)0.2秒)、精度高(±0.5% F.S)，適用于單一氣體或已知熱特性的氣體流量控制。
局限：依賴(lài)氣體熱特性，需針對(duì)每種氣體進(jìn)行標(biāo)定和轉(zhuǎn)換系數(shù)調(diào)整；熱絲易被腐蝕性氣體侵蝕，壽命較短；易受氣體中雜質(zhì)(如顆粒物、油污)影響，導(dǎo)致測(cè)量精度下降。
壓差式質(zhì)量流量控制器
原理：基于層流狀態(tài)下流體壓力差與流量的線性關(guān)系，通過(guò)測(cè)量氣體在層流狀態(tài)下的壓差來(lái)計(jì)算流量。層流狀態(tài)下，氣體流動(dòng)呈線性，壓差與流量成正比，且與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)。
優(yōu)勢(shì)：氣體兼容性強(qiáng)，無(wú)需為每種氣體設(shè)置轉(zhuǎn)換系數(shù)，可直接測(cè)量多種氣體；適合測(cè)量混合氣體(如空氣、天然氣等)；耐腐蝕材料(如不銹鋼、陶瓷)可適配腐蝕性氣體(如氯氣、氨氣等)；內(nèi)置溫度和壓力傳感器，可實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境變化對(duì)測(cè)量的影響。
局限：在某些強(qiáng)腐蝕氣體環(huán)境下，材料選擇受限；相比熱式技術(shù)，響應(yīng)速度可能稍慢。
性能對(duì)比與應(yīng)用場(chǎng)景
精度與穩(wěn)定性
熱式MFC在單一氣體或已知熱特性的氣體控制中精度更高(±0.5% F.S)，但長(zhǎng)期穩(wěn)定性受氣體腐蝕和污染影響較大。
壓差式MFC通過(guò)溫度和壓力補(bǔ)償技術(shù)，在不同工況下穩(wěn)定性更優(yōu)，適合多氣體、混合氣體及腐蝕性氣體的測(cè)量場(chǎng)景。
響應(yīng)速度
熱式MFC響應(yīng)速度快(0.2秒內(nèi))，適合需要快速調(diào)節(jié)的場(chǎng)景(如半導(dǎo)體刻蝕工藝)。
壓差式MFC響應(yīng)速度稍慢，但通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)可滿足大多數(shù)工業(yè)需求。
氣體兼容性
熱式MFC需針對(duì)每種氣體進(jìn)行標(biāo)定，混合氣體測(cè)量中易受成分變化影響，精度下降。
壓差式MFC無(wú)需考慮氣體熱特性，兼容性更強(qiáng)，適合多氣體、混合氣體及腐蝕性氣體的測(cè)量場(chǎng)景。
應(yīng)用場(chǎng)景
熱式MFC：適用于半導(dǎo)體制造、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等對(duì)單一氣體精度要求高的場(chǎng)景。
壓差式MFC：適用于新能源(如氫能、燃料電池)、環(huán)保(如廢氣監(jiān)測(cè))、醫(yī)療(如麻醉氣體控制)等多氣體、混合氣體及腐蝕性氣體的測(cè)量場(chǎng)景。
