精準控流 易度MFC賦能CVD硅碳負極工藝革新

硅碳負極材料屬于鋰離子電池四大主材：正極材料、負極材料、電解液、隔膜中的負極材料，對于鋰離子電池的能量密度（車輛續航）、循環性能（使用壽命）、充放電倍率（快充效率）以及低溫放電性能（車輛在低溫環境下的續航衰減）具有較大的影響。

硅碳負極由于其高理論比容量被視為是繼石墨之后發展前景較好的負極材料，成為研究的熱點；國內已有多家企業申請硅碳負極材料專li，預計2025年硅碳負極材料市場滲透率將上升，2035年市場規模將達660億美元，硅膨脹問題獲改善，硅碳負極材料需求有望進一步增長。

穩定性好促進高品質生產

除了硅膨脹問題，硅碳負極材料在CVD工藝生產過程中還會遇到其他問題，乙炔作為主要碳源時產率高且質量穩定，?丙酮作為溶劑幫助乙炔溶解和穩定，液體的丙酮會少量進入流道，對質量流量器的精度產生較大的影響，尤其是靠熱傳導計算和控制流量的熱式質量流量控制器，而層流壓差式質量流量控制器由于層流元件是機械結構件，有少量的霧化丙酮進入流道也會快速排出，影響較小。

超低漏率減少氧氣進入

通過CVD方式制備得到的硅碳負極材料，核心是通過多孔碳骨架來儲硅，向多孔碳顆粒的孔隙里通入硅烷氣體，通過高溫熱解使氣體沉積形成硅納米顆粒分散在多孔碳的孔隙里。但是如果管道出現泄漏或者質量流量控制器的漏率較高，硅烷與空氣中的氧氣反應會出現粉體，導致熱式質量流量控制器的毛細管堵塞，影響傳熱系數，也會導致發熱絲的老化，而層流壓差式質量流量控制器沒有旁路，所有氣體均從層流元件經過，層流元件不太容易堵塞，即使有少量粉體堵塞也不會對絕大部分區域造成影響，因此層流原理相比熱式更能抗污染。易度智能的質量流量控制器氦檢漏率可以達到≤1x101opa·m3/s，有效減少粉體的出現。

多氣體通用減少客戶庫存

對于CVD設備中，需要用到的氣體控制類型有很多，如硅烷、乙炔、氫氣、氬氣、氧氣等，同時需要多通道協同控制實現；熱式質量流量控制器以熱傳學為基礎，每臺產品出場時需要用實際氣體標定，所以原則上只能適用于一種氣體。層流原理不同介質通過黏度區分，黏度是氣體的物性參數，每種氣體的黏度在特定工況下是定值，只要將黏度系數和算法設置好，就可以做到直接切換工質，可適用于多種氣體。

針對納米硅合成、氣相沉積過程中乙炔的分解和碳包覆層的形成?等關鍵環節。易度高精型質量流量控制器EC系列憑借其高準確度（±0.5%S.P.）、高重復性(±0.1%Rd)、耐腐蝕性、優異的密封性能和產品長期穩定性，保障了工藝穩定性與材料一致性，促進了材料性能（如能量密度、循環壽命）提升，并顯著改善生產安全。獲得了客戶的好評。

規格型號：EC450

準確度：±0.5%S.P.(設定值)(20%～100%量程范圍)、±0.1%F.S.(滿量程)(0.5%～20%量程范圍)

壓力漂移：Zero：≤±0.1%Rd/100kPa；Span：≤±0.1%Rd/100kPa（基準100kPa(絕壓))

溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃）

量程范圍：0.1SCCM~20000SLPM

重復精度：±0.1%Rd(20%～100%F.S.)、±0.02%F.S(0.5%～20%F.S.

工作范圍：0.5%～100%F.S.

響應時間(T98)： ≤300ms

啟動預熱時間： 開機即用無需預熱

讓每一微升氣體，精準定義硅碳負極性能！實驗室到量產，我們為工藝穩定性護航!