一、定義與原理
層流壓差質(zhì)量流量計(jì)是基于哈根泊肅葉定律設(shè)計(jì)的流量測(cè)量?jī)x器。該定律指出，在溫度、管徑等參數(shù)一定的情況下，圓管內(nèi)的不可壓縮流體在層流運(yùn)動(dòng)狀態(tài)時(shí)，其體積流量與壓降之間存在線性關(guān)系。通過(guò)讀取層流元件兩端的壓差信號(hào)，可以計(jì)算出體積流量，再經(jīng)過(guò)壓力和溫度修正后，即可獲得標(biāo)準(zhǔn)體積流量和質(zhì)量流量。
二、應(yīng)用領(lǐng)域
層流壓差質(zhì)量流量計(jì)在高端制造業(yè)中具有廣泛的應(yīng)用，包括但不限于：
半導(dǎo)體制造：用于擴(kuò)散、氧化、外延、等離子刻蝕、濺射、氣相沉積等工藝設(shè)備中，測(cè)量和控制工藝氣體流量。
生物科技：用于生產(chǎn)過(guò)程中的滅菌工藝、配料、配氣、排氣檢測(cè)及生物反應(yīng)器等流量測(cè)控。
環(huán)境分析：用于氣相色譜儀和環(huán)境保護(hù)等分析儀器中，進(jìn)行氣體取樣量或大氣采集量的精密測(cè)量。
機(jī)械構(gòu)件測(cè)試：用于閥門等機(jī)械構(gòu)件氣密性指標(biāo)的氣體泄漏量精密測(cè)量，以及小孔尺寸和過(guò)濾材料透氣性等的測(cè)量。
微型試驗(yàn)裝置：用于微型反映試驗(yàn)裝置中微小氣體流量的測(cè)量和控制。
表面處理：用于真空鍍膜、汽車玻璃鍍膜、自動(dòng)化噴漆、等離子體噴涂等工藝中，對(duì)氣體進(jìn)行精密測(cè)量和控制。
三、優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)
多氣體任意切換：層流壓差質(zhì)量流量計(jì)可以實(shí)現(xiàn)多氣體任意切換，且不需要轉(zhuǎn)換系數(shù)。這是因?yàn)闅怏w的體積流量和壓差以及氣體的粘性線性相關(guān)，只要知道測(cè)控氣體的粘性，就能得出氣體的體積流量。
響應(yīng)速度快：層流壓差質(zhì)量流量計(jì)的響應(yīng)時(shí)間非?？?，關(guān)鍵在于層流元件兩端壓差信號(hào)的獲取速度，這個(gè)時(shí)間取決于壓力波的傳播速度(壓力波是聲波的一種)。
高精度：由于氣體的體積流量和壓差是一個(gè)趨近于線性相關(guān)的關(guān)系，因此層流壓差質(zhì)量流量計(jì)的精度非常高。
高重復(fù)性：層流壓差質(zhì)量流量計(jì)的重復(fù)性取決于流態(tài)的穩(wěn)定，常規(guī)環(huán)境中氣體是呈湍流狀態(tài)運(yùn)動(dòng)，而層流壓差質(zhì)量流量計(jì)通過(guò)層流元件讓氣體做層流運(yùn)動(dòng)，層流氣體的流態(tài)穩(wěn)定，因此重復(fù)性高。
無(wú)需預(yù)熱：與熱式質(zhì)量流量計(jì)不同，層流壓差質(zhì)量流量計(jì)無(wú)需預(yù)熱即可開始正常工作，這為用戶節(jié)省了時(shí)間并提高了效率。
四、市場(chǎng)與發(fā)展
盡管目前熱式質(zhì)量流量計(jì)在市場(chǎng)上占有率較高，但層流壓差質(zhì)量流量計(jì)作為一條全新的技術(shù)路線，在部分性能上較熱式質(zhì)量流量計(jì)具有明顯優(yōu)勢(shì)。隨著半導(dǎo)體、新能源等制造業(yè)的快速發(fā)展，層流壓差質(zhì)量流量計(jì)的應(yīng)用前景將更加廣闊。同時(shí)，國(guó)內(nèi)廠商也在不斷努力研發(fā)和創(chuàng)新，以提高層流壓差質(zhì)量流量計(jì)的性能和降低成本，以滿足更多行業(yè)的需求。
