氣體質量流量控制器-基于層流壓差式的專業解析

氣體流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）是一種用于精確控制氣體流量的關鍵設備，廣泛應用于半導體制造、化學工藝、生物醫藥以及環保等領域。其工作原理和性能表現直接決定了相關工藝的效率與質量。

易度智能作為國產自研層流原理的MFC制造商，以其技術和產品性能成為行業的獨角獸。小編從專業視角詳細解析基于層流壓差原理的MFC核心技術、工作機制及易度智能MFC的產品優點。

1. 層流的基本特性

層流是氣體在低雷諾數條件下的穩定流動狀態，在層流狀態下，氣體的流量與壓差成正比。這一特性為層流壓差式氣體流量控制器的設計提供了理論基礎。

2. 壓差式測量的實現

層流壓差式MFC通過以下關鍵組件實現流量測量：

層流元件：精密的機械結構確保氣體在通過時保持層流狀態。

壓差傳感器：自研高靈敏傳感器實時測量層流元件兩端的壓差值。

計算方式：測量出壓差后就可以根據標定數據獲得工況流量和質量流量。

易度智能層流質量流量計及控制器的核心優勢

3. 國產自研！

易度智能是國內第—家獲得層流壓差式CPA資質批準證書的企業，也是有能力生產通用型層流質量流量計的制造商。其產品補充了國內市場的技術空白，具備可平替進口設備的能力。

4. 高精度與高穩定性

量程范圍廣：高精型產品覆蓋0.1sccm至5000slpm的量程需求，適應多樣化的工況場景。

測控精度：高精型產品測量誤差控制在±0.5%讀數精度以內，重復性達到±0.1%，在行業中處于上游水平。

溫度壓力補償：內置溫度傳感器和壓力傳感器，通過實時修正，保證不同環境條件下的精確測量。

5. 嚴苛的質量保障

核心部件自主研發：所有關鍵組件均為自主設計與制造，確保質量可控，可根據需求靈活定制產品。

疲勞與耐久測試：每款產品需通過數千萬次疲勞測試，確保長期穩定運行。

廣泛氣體兼容性：內置70+種氣體及混合氣體數據庫，用戶可根據工藝需求快速適配多種氣體，開機即測，無需轉換系數。

基于層流壓差原理的氣體流量控制器以其高精度、快速響應和可靠性在工業領域中占據重要地位。易度智能以國產自研，超高技術和高可靠性產品，為更多行業提供了可靠的解決方案。