質(zhì)量流量控制器應(yīng)該先通氣還是先設(shè)流量？

客戶在使用易度氣體流量控制器（MFC）時反映有這樣的問題：剛通氣時流量會瞬間達到可測量的最大值并顯示告警信息，然后又迅速穩(wěn)定到設(shè)定值，客戶覺得易度MFC有很嚴重的超調(diào)過沖問題。經(jīng)過與客戶詳細交流后發(fā)現(xiàn)，客戶是先將MFC設(shè)定流量，再開啟截止閥給管路通氣。MFC在使用過程中到底應(yīng)該先通氣還是先設(shè)流量呢？

圖：常見MFC連接方式

我們先來看MFC的工作原理。

MFC通過流量測量部分測量氣體流量，并根據(jù)測量值發(fā)出反饋信號調(diào)節(jié)閥門開口大小，達到控制流量的目的。當(dāng)測量的流量小于設(shè)定流量時，就會增加閥門開口度，讓氣體流量增加，反之亦然。

圖：MFC工作示意簡圖

了解了MFC的工作原理，再來看客戶遇到的問題就容易理解了。

在不通氣的情況下，將MFC設(shè)定流量后，流量傳感器檢測流量為零，小于設(shè)定值，于是微處理器發(fā)出信號將閥門開大，再檢測流量，發(fā)現(xiàn)流量仍然是零，仍然小于設(shè)定值。微處理器只能繼續(xù)發(fā)出控制信號直到將閥門開到最大并保持這個狀態(tài)。這時打開截止閥，氣體瞬間開始流動起來，而此時閥門開到了最大，氣體就會以一個很大的流量值流過MFC。MFC檢測到流量超過了設(shè)定值，于是控制閥門開口度減小，將實際流量穩(wěn)定在設(shè)定值。這就是先設(shè)流量再通氣時MFC的實際工作過程。

這并不是MFC本身的問題，而是在使用MFC時的操作順序問題。正確的操作順序是先通氣，再設(shè)流量。

先通氣時，由于易度MFC是自主研發(fā)的閥門，具有截止能力，能夠?qū)㈤y門關(guān)閉，因此并不會有流量產(chǎn)生。這時設(shè)定流量，MFC打開閥門，將流量從零迅速調(diào)整到設(shè)定值，達到精確控制流量的目的。